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Lüneburger SIEB & MEYER AG ermöglicht höhere Bearbeitungsgüte in der Halbleiterindustrie

Anwendung in einer SchleifmaschineDer Antriebsverstärker SD2S von SIEB & MEYER bietet Anwendern verschiedene Antriebsarten, die den Betrieb von Hochgeschwindigkeitsmotoren in unterschiedlichen Einsatzbereichen ermöglichen. Nun hat das Lüneburger Unternehmen die Leistung der Antriebsart „HSBLOCK“ weiter verbessert. Davon profitiert vor allem die Halbleiterindustrie.

Die Antriebsart „HSBLOCK“ wird vor allem in der Halbleiterindustrie zur Vereinzelung von Wafern (im Englischen „Dicing“) eingesetzt. Sie ermöglicht es, die mit permanenterregten Synchronmotoren ausgestatteten hochdrehenden Spindeln optimal anzutreiben. Dabei sorgt der SD2S nicht nur für eine hohe Drehzahlstabilität bei Laständerungen, sondern auch für eine möglichst geringe Spindelerwärmung – so lassen sich ungünstige thermische Ausdehnungen von vornherein vermeiden. Diese beiden Faktoren stellen zusammen mit einer hohen mechanischen Steifigkeit der Spindeln die wichtigsten Voraussetzungen für diesen Applikationsbereich dar.

Durch die Weiterentwicklung der Antriebsart ist es jetzt möglich, die maximale Drehfeldfrequenz von 3.000 Hz auf 6.000 Hz zu steigern, hierbei sind Taktfrequenzen bis zu 64 kHz möglich. Für die Spindelhersteller hat das den Vorteil, dass sie die Polpaarzahl bzw. die Spindeldrehzahl erhöhen können. Im Rahmen der Optimierung konnte SIEB & MEYER zusätzlich die Regelungsgüte bezüglich Gleichlauf und Dynamik im Lastfall signifikant verbessern. Die Voraussetzung hierfür war unter anderem eine höhere Störfestigkeit der Hallsensor-Auswertung. Insgesamt ermöglicht die weiterentwickelte Antriebsart eine höhere Bearbeitungsgüte, die den kontinuierlich steigenden Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird.

Die Wirtschaftsförderung Lüneburg unterstützt das Unternehmen SIEB & MEYER AG bei der Antragstellung und im Management von innovativen Entwicklungsprojekten.

Mehr zum Unternehmen: http://www.sieb-meyer.de/

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